半導(dǎo)體封裝測(cè)試解決方案專業(yè)品牌蔚華科技推出業(yè)界首創(chuàng)「蔚華激光斷層掃描（SpiroxLTS）」技術(shù)，結(jié)合多項(xiàng)專利非線性光學(xué)組合技術(shù)，非破壞性、零接觸、零損傷地直接觀測(cè)TGV（Through Glass Via）玻璃內(nèi)激光改質(zhì)斷層圖，可精準(zhǔn)解析激光改質(zhì)成效，完整揭示改質(zhì)連貫性與均勻度，確保制程質(zhì)量符合設(shè)計(jì)要求，為TGV制程參數(shù)控制帶來革命性突破，將有助于TGV業(yè)者加速量產(chǎn)時(shí)程。

蔚華科技SP8000G運(yùn)用業(yè)界首創(chuàng)「蔚華激光斷層掃描（SpiroxLTS）」技術(shù)，以非破壞性方式精準(zhǔn)解析激光改質(zhì)成效

隨著高速運(yùn)算、高頻通訊、AI加速器及高效能服務(wù)器等應(yīng)用快速推進(jìn)，TGV技術(shù)成為先進(jìn)封裝關(guān)鍵工藝，具備低介電常數(shù)、優(yōu)異熱穩(wěn)定性及高密度I/O整合能力，應(yīng)用于玻璃芯（Glass Core）與2.5D/3D中介層（Interposer）等高階封裝結(jié)構(gòu)，產(chǎn)業(yè)應(yīng)用熱度居高不下，發(fā)展?jié)摿嫶?，但TGV前段制程中的激光改質(zhì)質(zhì)量長(zhǎng)期無法實(shí)時(shí)掌握，成為良率與成本控制的挑戰(zhàn)，尤其是改變不同高低價(jià)位的玻璃材質(zhì)時(shí)。

TGV業(yè)界知名激光改質(zhì)設(shè)備公司海納光電總經(jīng)理江朝宗表示：“我們非常欣賞與肯定蔚華科技所推出的業(yè)界首創(chuàng)激光斷層掃描檢測(cè)設(shè)備SP8000G，讓我們能在不破壞玻璃襯底下直接看到激光改質(zhì)真實(shí)分布狀況，這對(duì)于我們提升激光改質(zhì)機(jī)性能與質(zhì)量產(chǎn)生極大幫助。”海納光電長(zhǎng)期致力于TGV激光制程材料與工藝開發(fā)，對(duì)SpiroxLTS技術(shù)高度肯定，相信此技術(shù)將為激光制程數(shù)據(jù)化、可視化奠定基礎(chǔ)，并為材料研發(fā)與制程調(diào)校提供精準(zhǔn)平臺(tái)。海納光電與蔚華科技的技術(shù)互補(bǔ)，展現(xiàn)整合開發(fā)與量產(chǎn)應(yīng)用高度潛力。

SpiroxLTS讓玻璃內(nèi)部激光改質(zhì)層可視化，對(duì)開發(fā)高質(zhì)量Glass Core產(chǎn)品極為關(guān)鍵。過去在材料開發(fā)與制程優(yōu)化階段，需仰賴破壞性方式才能間接推估改質(zhì)狀態(tài)，如今可直接取得非破壞性數(shù)據(jù)，將大幅縮短開發(fā)時(shí)程并提升改質(zhì)均勻性掌控能力。目前為業(yè)界極少數(shù)符合AI需求之高質(zhì)量TGV 玻璃芯襯底供貨商之一，晶呈科技股份有限公司表示：“玻璃內(nèi)部激光改質(zhì)層可視化，可凸顯晶呈科技玻璃鉆孔之真圓、準(zhǔn)直、孔壁平坦度之優(yōu)異特性，對(duì)于玻璃芯襯底量產(chǎn)化及良率提升肯定有幫助?！?

根據(jù)TGV業(yè)界封裝襯底金屬化與增層制程的多家主力廠商表示，TGV金屬化與后段增層對(duì)孔徑結(jié)構(gòu)與改質(zhì)質(zhì)量要求極高，過去信息取得困難，常導(dǎo)致后段制程挑戰(zhàn)。經(jīng)過實(shí)測(cè)驗(yàn)證，SpiroxLTS非破壞性檢測(cè)技術(shù)可讓業(yè)界在材料與制程驗(yàn)證階段即導(dǎo)入質(zhì)量篩選機(jī)制，對(duì)實(shí)現(xiàn)高階封裝TGV襯底的穩(wěn)定量產(chǎn)，具有關(guān)鍵意義。

蔚華科技總經(jīng)理?xiàng)顮d州表示：“很榮幸SP8000G能成功解決TGV改質(zhì)無法被看到的問題，并獲得業(yè)界指針性激光改質(zhì)設(shè)備商海納光電、玻璃芯襯底制造商晶呈科技，以及TGV玻璃襯底技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)廠商欣興電子的共同肯定。除了激光改質(zhì)檢測(cè)，SP8000G亦能非破壞性地精準(zhǔn)檢測(cè)TGV蝕刻孔腰身位置、孔壁粗糙度與鍍銅孔壁玻璃裂紋，皆為目前TGV業(yè)界難以找到的檢測(cè)解方。相信以SpiroxLTS技術(shù)，能大幅加速推動(dòng)TGV市場(chǎng)量產(chǎn)時(shí)程?！睏顮d州進(jìn)一步指出，SpiroxLTS已優(yōu)先導(dǎo)入玻璃芯與中介層等高頻高速封裝應(yīng)用，支持材料評(píng)估、制程導(dǎo)入與量產(chǎn)監(jiān)控，將成為TGV工藝量產(chǎn)的重要推動(dòng)力。