隨著半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展，全球晶圓制造企業(yè)正面臨著日益嚴(yán)峻的用工挑戰(zhàn)。尤其是在8寸晶圓生產(chǎn)線中，傳統(tǒng)的物料搬運(yùn)方式依賴大量人工操作，不僅效率低下，還容易導(dǎo)致晶圓破損和污染。為了解決這一難題，優(yōu)艾智合的OW8晶圓盒搬運(yùn)機(jī)器人已在全球知名晶圓制造企業(yè)TSMC、中芯國際、華天科技等近百家全球知名、國內(nèi)頭部的半導(dǎo)體企業(yè)中實(shí)現(xiàn)規(guī)模化應(yīng)用，成為半導(dǎo)體物流自動(dòng)化領(lǐng)域的重要推動(dòng)力。

在某國際頭部晶圓廠的8寸晶圓車間，優(yōu)艾智合成功部署了50+臺(tái)OW8晶圓盒搬運(yùn)機(jī)器人，實(shí)現(xiàn)了從光刻到清洗全流程的自動(dòng)化物流。該項(xiàng)目所在的8寸晶圓車間生產(chǎn)流程復(fù)雜，涉及光刻、蝕刻、清洗等多個(gè)工藝段，SMIF POD需要在Intra-Bay和Inter-Bay之間反復(fù)流轉(zhuǎn)。傳統(tǒng)的人工搬運(yùn)方式不僅工作強(qiáng)度大，還面臨著招工難、人力成本高等問題。優(yōu)艾智合通過OW8機(jī)器人集群，成功替代了人工搬運(yùn)環(huán)節(jié)，實(shí)現(xiàn)了SMIF POD在設(shè)備間的自主上料、下料和物料配送。

OW8機(jī)器人采用高精度SLAM導(dǎo)航技術(shù)，能夠在復(fù)雜的車間環(huán)境中自主避障和路徑規(guī)劃。其獨(dú)特的四面開口底盤設(shè)計(jì)，使得設(shè)備維護(hù)更加便捷，維修時(shí)間縮短60%以上。此外，機(jī)器人還配備了專利減震機(jī)構(gòu)，確保運(yùn)輸過程中的振動(dòng)值控制在0.1g以下，有效降低了晶圓破損率。

在實(shí)際運(yùn)行中，OW8機(jī)器人集群表現(xiàn)出色。單臺(tái)機(jī)器人日均處理物料超過240次，整個(gè)系統(tǒng)單日物料處理量突破12,000次，完全滿足了工廠7×24小時(shí)連續(xù)生產(chǎn)的需求。通過與工廠MES系統(tǒng)的深度對(duì)接，優(yōu)艾智合自研的TMS（運(yùn)輸管理系統(tǒng)）實(shí)現(xiàn)了物料流轉(zhuǎn)的全流程追溯，進(jìn)一步提升了生產(chǎn)管理的透明度和效率。

除了在該國際頭部晶圓廠的成功應(yīng)用，優(yōu)艾智合的OW8機(jī)器人還在全球知名晶圓制造企業(yè)TSMC、中芯國際、華天科技等近百家全球知名、國內(nèi)頭部的半導(dǎo)體企業(yè)中實(shí)現(xiàn)了規(guī)?；渴?。